RS422数字输出型MEMS三轴加速度传感器

FH1301D RS422数字输出型MEMS三轴加速度传感器

一、 简介

FH1301D三轴数字加速度计是有我公司自行研制，用于测量加速度的传感器。它采用高精度、低噪声MEMS芯片， 具有BIMOS信号限制电路。设计考虑多用户的需求，制造采用表贴工艺 技术。具有高可靠性和高封装坚固性特点，自检测（Self-Test）功能。

本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。

二、 原理

FH1301D三轴数字加速度计是建造在硅晶片顶部的表面MEMS 多硅结构。多晶硅悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克服加速度 感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央 板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转，从而产生电压输出信号。

三、 性能指标

FH1301D 技术参数

X、Y、Z轴（g）测量范围

±2 (±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可选

频响（Hz）

0-250

零偏（mg）

零偏稳定性（mg）

零偏重复性（mg）

非线性度（％ F.S）

输岀接口

RS422

数据更新率（可设）

500hz@460800 ( 1000hz)

供电要求

供电电压（VDC）

9-12

输入电流（mA）

工作环境

使用温度（°C）

-40 to 80

耐加速度0.1ms

5000g

重量、体积

重量（g）

尺寸（mm）

26*26*13.2