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2020-08-17 19:01:57
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光刻机
URE-17型
光刻机广泛适宜于在微电子行业及实验中使用。
主要用于功率器件、传感器、光电子器件、微波电路、微电子机械系统以及其它半导体电子元器件的单、双面对准及曝光工艺。光刻机其原理是对光刻胶掩膜进行曝光以形成光刻胶图形，采用的是接触式紫外曝光.
1．技术参数
1,曝光面积：f50-f125mm
2,分辨力：1.7mm（胶厚2 mm的正胶）
3,对准精度：±1mm（如不带显微镜，则不包含此项指标）
4,掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
5,掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸(配四个)
6,样片尺寸：直径f15mm-- f100mm
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
7,照明均匀性： ±6%（f100mm 范围）
8,掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
9,汞灯功率：200W（直流）
10,曝光波长：365nm
11,曝光方式：定时（到计时方式）
2．外形尺寸：650mm（长）′600mm(宽) ′900mm（高）
3．配置
（1）曝光头
200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
1,XYZ汞灯调节台
2,光学系统
3,冷却风扇
（2）对准工件台
1,机器框架，掩模样片整体运动台
2,掩模样片相对运动台
3,转动台
4,样片调平机构,自动完成
5,样片调焦机构，气缸自动调
6,承片台3个（?50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
掩模夹4个（2.5寸、3寸、4寸、5寸）
掩模抽拉式上下机构
（3）电控系统
1,汞灯触发电源(200W直流汞灯)
2,单片机控制系统
3,控制机箱
（4）气动系统
1,气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
2,电磁阀驱动
3,气动仪表
4,真空泵一台
鑫有研电子科技有限公司系鑫有研企业集团在中国投资企业（企业简称：鑫有研，英文名称：SIYOUYEN）鑫有研系一家从事微电子工艺技术设备研发、设计、制造、销售、服务于一体的综合性企业。鑫有研:概念源自于21世纪初期美国，意为科技在社会技术方面应用的无缺体现，拥有“无缺生活,无缺科技”之桂冠美誉。鑫有研将科技领域的成功、社会责任和环境保护相结合。通过科技与创新，帮助微电子企业及高校实验室等机构客户满足当前及未来的需求。公司严格贯彻与规范实施ISO9001质量管理标准体系和ISO14001环境管理体系标准；鑫有研拥有一批技术先进、服务优良的高素质人才，和完善的售后服务体系。产品以其优越的品质进入国际市场,为国家要点工程配套、环保工业、科研、信息产业等做出了较大贡献，获得了广大用户的信赖与好评，鑫有研热诚欢迎广大客户、企业朋友等携手共同进步！ 1、微电子工艺设备方面 鑫有研在半导体、太阳能、FPD领域湿制程设备的设计、研发、生产及销售；同时代理半导体、太阳能、FPD领域及其它国外设备，负责在中国市场的开发、推广、服务！ 2、真空技术应用方面 鑫有研在真空行业领域，通过引近韩国、德国先进的真空技术与合作，开发出了旋片真空泵，无油真空泵，防爆真空泵等。同时与韩国WONCHANG，韩国DOOVAC，韩国NARA，韩国G&M，韩国KMC，意大利DVP，等形成战略联盟，致力于真空技术的推广与销售！ 3、生物技术研发方面 鑫有研在生物技术方面与国家各个要点科研领域机构合作（质检，光学，教育，航天，海洋，石油，制药，检测等）共同致力于节能减排低碳环保产业，涉及节能环保化工、设备、研发和新技术推广等工作！ 鑫有研企业集团先后***：“中国质量500强”“中国品牌500强”“中国有名品牌”等荣誉！