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河南洁净室净化工程


河南新起点净化工程有限公司立足于环保行业,致力于中国臭氧设备技术的改进,更新换代,提高臭氧设备综合性能,为提高消毒及空气净化的环保装备水平作出自己的努力。产品广泛应用于环保、电力、水利、化工、建材、粮食、养殖、家庭、办公室、医院等行

业的消毒和空气净化。

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细

,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低

,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在准确装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通

过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产较佳湿度范围为35—45%。

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