供应多功能质量流量计

www.bjtxss.com 一.概述

质量流量控制器 用于对气体的质量流量进行准确测量和控制。TS170采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，TXY970也同样适用。

二.使用范围

它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

三.产品特点

●直接热式原理，无层流元件
●无压损,抗结晶,抗腐蚀
●适用于各种低压和高压管道
●准确测量和控制气体的质量流量
●预热时间短,零漂小，可靠性高
●多种气体可选,也可自行输入

四.技术参数

1

量程范围

（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM(ml/min)

（0~1,2,3,5,10） SLM(L/min)

2

准确度

1.5%F.S

3

线性

0.5~1.5%F.S

4

重复精度

0.2%F.S

5

响应时间

电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

6

工作压差

（0.1~0.5）MPa

7

耐压

3MPa

8

工作环境温度

0~70℃

9

数字量

RS485 MODBUS协议

10

模拟量

DC 0~5V ，4~20mA 可选

11

供电

DC 15V/24V 可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA

12

电气连接

DB15

13

漏率

1×10­-8SCCSHe

14

底座材质

316L不锈钢

15

密封材质

氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

16

气路街头

Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定.

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)

标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);

气压-----101325 Pa （760mm Hg）

F.S (Full Scale); 满量程值